1.系统
室内的空气净化系统可分为水平层流、垂直层流和乱流。选择气流形式一则参照惯例，二则取决于房间的工作参数。
2.洁净度与换气次数
房间的洁净度取决于单位时间的换气次数，因此慎密考虑房间的工作性质、以及生产工艺要求，再决定净化系统的技术参数。
3.结构
为了保证气流几乎不受干扰，就必须进行结构设计，必要的谨慎可以防止房间里任何地方的灰尘积累。
4.设计方案
要确定设计方案，必须先对房间的工作性质以及其中的气流条件进行认真的考虑。发尘量大的车间不宜采用地面送风形式，洁净度要求高的车间应尽可能远离其它车间。
5.材料
作为洁净室顶棚，墙面和地板的材料必须是不宜破裂、不易沾颗粒，以及几乎不起尘的材料，另外根据房间不同的工作条件，还必须考虑材料的化学性能是否稳定。
6.压力和气流
为了保证房间的洁净度，必须防止外面污染气流进入室内，要达到这个目的，房间里必须保持正压。为了获得所要求的房间压力，必须补充适当的新鲜空气。
7.辅助设备
必要时还得安置一些辅助设备：如新风口的空气指示仪，隔断上的传递窗等。这些设备必须适合房间的要求，并且必须真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是洁净室的主要尘源，因此必须充分控制，例如：在进入净化房前，所有的人都要经过人净系统，更换无尘衣，并且要接受净化系统功能的基本教育。
9.给排水和送风装置及电源
根据所要运行的车间，提供必须的给排水装置，送风装置和电源，这些装置和所涉及的设备必须易于使用和设计，同时不得有勃于空气净化系统。
洁净室的规划 一般性的规划重点
洁净室的整厂规划(Turn Key
Projects)(如表3-1)，因涉及范围极广，需建筑、水电、空调、环保、防震、制造等各项专业人才共同规划，尽管不少洁净室规划，多需要就于既有的建筑物，然而，为避免失误应尽可能事先确认下列事项：
|
1. 洁净度等级。
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2. 室压之平衡措施。
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3. 温湿度要求。
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4. 机器设备之必要性。
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5. 确定生产流程。
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6. 局部排气之必要性。
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7. 日后扩充弹性。
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8. 足够维护保养空间。
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9. 空调送风方式。
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10. 员工休息区之安排。
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11. 设施与动力之配置。
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12. 室内净高与楼板载重。
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13. 设备空间与管道间。
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14. 门窗宜少，气密性要佳。
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15. 静电、振动及噪音。
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16. 生产线与活动线少交叉。
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17. 公害、污染与防灾。
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18.
安装及运转成本之衡量。
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洁净室的动线规划
所谓[动线]，是指人员、原料之入室路线，与人员与成品的出室路线。规划时，要检讨分析人(车)路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业之流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross
Contamination)。
要点：
1． 作业者、材料、化学药品等动线勿集中。
2． 制造装置之出入，需不对作业产生大影响。
3．
超洁净室四周，宜设缓冲区(即较差洁净区)。
工业洁净室(ICR)之洁净度与适用和分类表
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洁净度
产业别
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洁净度(≥0.5μm，个/ft3)
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1
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10
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100
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1000
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10000
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100000
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LSI制造工程
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LSI组立检查工程
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(矽)单结晶
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照像光罩photo mask
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光阻涂膜photoresist
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一般液晶(tn,stn)
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显示用液晶(tft,mim)
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投影用液晶(tft)
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混合(hybrid)IC
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印刷基板材料
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印刷配线板
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电晶体、二极体
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精密电子部品
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磁头
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磁碟
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|
电脑、磁碟装置组立
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录影带、光碟
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照像底片
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光织
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精密轴承
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光学镜片
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|
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|
半导体制造装置
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洁净管及阀类
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LSI制造用化学药品
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精密测定机制造
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清洗无压衣
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印刷、制版
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生物洁净室(BCR)之洁净度与适用和分类表
洁净度
产业别
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洁净度(≥0.5μm，个/ft3)
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(医药品)
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抗生物质
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注射药
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血清
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|
药剂包装过程
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医疗用器具
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(病院)
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无菌手术室
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|
手术室
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无菌病室
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|
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|
调剂室
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|
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|
|
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|
(食品)
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|
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|
|
|
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|
牛乳·乳制品
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|
|
|
|
|
|
食肉·食肉加工
|
|
|
|
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|
炼乳制品
|
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|
|
|
|
|
|
清酒·酒类
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|
|
|
|
|
|
|
糕饼·豆腐
|
|
|
|
|
|
|
|
制果·面包
|
|
|
|
|
|
|
(动物实验)
|
|
|
|
|
|
|
|
饲养区
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|
|
|
|
|
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隔离区
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|
|
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|
|
其他
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|
|
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磨茹·菌类培养
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|
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观叶植物培养
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|
|
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化妆品
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|
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![]()
美国太空署(NASA)之无菌室规范重点(NHB-5340.2)
|
无菌室(BCR)洁净等级
|
微粒子
|
微生物
|
|
粒径
|
累积粒子数
个/ft3(个/L)
|
浮游量
个/ft3(个/L)
|
沈降量
个/ft2(个/M2)
|
|
100
|
≥0.5
|
≤100(≤3.5)
|
≤0.1(0.0035)
|
1200(12900)
|
|
10000
|
≥0.5
|
≤10000(≤350)
|
≤0.5(0.0176)
|
6000(64600)
|
|
≥0.5
|
≤65(≤2.3)
|
|
100000
|
≥0.5
|
≤100000(≤3500)
|
≤2.5(0.0884)
|
3000(323000)
|
|
≥5.0
|
≤700(≤25)
|
![]()
FS-209E洁净度等级(1992年)
|
粒径大小
|
≥0.1μm
|
≥0.2μm
|
≥0.3μm
|
≥0.5μm
|
≥5μm
|
|
微粒子数
|
个/M3
|
个/ft3
|
个/M3
|
个/ft3
|
个/M3
|
个/ft3
|
个/M3
|
个/ft3
|
个/M3
|
个/ft3
|
|
S1制级
|
英制级
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
M1
|
|
350
|
9.01
|
75.7
|
2.14
|
30.9
|
0.875
|
10.0
|
0.283
|
|
|
|
M1.5
|
1
|
1240
|
|
265
|
7.50
|
106
|
3.00
|
35.3
|
1.00
|
|
|
|
M2
|
|
3500
|
35.0
|
757
|
21.4
|
309
|
8.75
|
100
|
2.83
|
|
|
|
M2.5
|
10
|
124000
|
|
2650
|
75.0
|
1060
|
30.0
|
353
|
10.0
|
|
|
|
M3
|
|
35000
|
99.1
|
7570
|
214
|
3090
|
87.5
|
1000
|
28.3
|
|
|
|
M3.5
|
100
|
|
|
26500
|
750
|
10600
|
300
|
3530
|
100
|
|
|
|
M4
|
|
|
|
75700
|
2140
|
30900
|
875
|
10000
|
283
|
|
|
|
M4.5
|
1000
|
|
|
|
|
|
|
35300
|
1000
|
247
|
7.00
|
|
M5
|
|
|
|
|
|
|
|
100000
|
2830
|
618
|
17.5
|
|
M5.5
|
10000
|
|
|
|
|
|
|
353000
|
10000
|
2470
|
70.0
|
|
M6
|
|
|
|
|
|
|
|
1000000
|
28300
|
6180
|
170
|
|
M6.5
|
100000
|
|
|
|
|
|
|
3530000
|
100000
|
24700
|
700
|
|
M7
|
|
|
|
|
|
|
|
10000000
|
283000
|
